[发明专利]一种半导体器件测试自动化工装及测试箱体在审
申请号: | 201911149098.6 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN111025109A | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 柏加来;韩正;朱国军;唐德平 | 申请(专利权)人: | 合肥科威尔电源系统股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/04 |
代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人: | 张景云 |
地址: | 230088 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体器件测试自动化工装,包括壳体、加热台、驱动装置、导向装置、线性滑轨及固定装置,其中,所述壳体的内侧螺栓固定设置有线性滑轨,所述线性滑轨与固定装置的两侧外壁面滑动连接,所述固定装置上设置有若干个用于精确安装定位的导向装置,所述固定装置的顶部表面还固定设置有加热台,所述加热台与驱动装置相配合并由驱动装置驱动运动,所述驱动装置与壳体固定连接。本发明还公开了一种半导体测试箱体。通过导向装置进行定位,方便安装固定装置,在驱动装置驱动下带动固定装置滑动并限位,实现多方向位运动,运动精度高,固定方式可靠,从而实现稳定而快捷。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体器件 测试 自动化 工装 箱体 | ||
【主权项】:
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