[发明专利]一种阵列结构硅基靶板及其应用有效
| 申请号： | 201911148324.9 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110902646B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 李静;钟昌祥;林水潮;尹君;惠文杰;郑南峰 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01N27/626;G01N27/68 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王茹 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阵列结构硅基靶板及其应用，所述阵列结构硅基靶板包括点样区和外围区，所述点样区具有微纳米结构阵列，所述微纳米结构阵列包括数个微纳米结构，所述微纳米结构的高度为10nm‑100μm，等效直径或者等效边长为10nm‑100μm，所述相邻微纳米结构之间的距离为10nm‑10μm，所述微纳米结构阵列还包括裹附在微纳米结构表面的材料层；以及本发明的阵列结构硅基靶板在质谱检测、拉曼检测、生物传感器或光电探测器中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 结构 硅基靶板 及其 应用 | ||
【主权项】：
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