[发明专利]一种二维激光螺旋式清洗方法有效
| 申请号： | 201911131355.3 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110802082B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 汤发全 | 申请（专利权）人： | 镇江长悦光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B23K26/362 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 212001 江苏省镇江市新区丁*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维激光螺旋式清洗方法，激光清洗系统包括两个正交偏转的数字振镜电机，激光依次通过光隔离系统和准直系统后，依次入射到两个正交偏转的数字振镜电机轴上的反射镜上，经二次反射后，由场镜约束聚焦在二维平面内扫描烧蚀靶材基底上的表面污渍；两个数字振镜电机的接口协议是XY2‑100；两个数字振镜电机分别独立受控。本发明二维激光螺旋式清洗方法，对于清洗区域内任一点，相比于逐行烧蚀，激光按照螺旋填充路径走完外圈后才重回到该点附近，该点区域获得冷却时间，激光热积累效应变弱；逐行扫描速度为单个振镜电机速度，螺旋扫描速度为两电机速度矢量和，因此，相比于逐行扫描方式，激光螺旋式清洗的效果更加均匀，清洗效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 激光 螺旋式 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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