[发明专利]一种二维激光螺旋式清洗方法

权利要求书

1.一种二维激光螺旋式清洗方法，其特征在于：激光清洗系统包括两个正交偏转的数字振镜电机，激光依次通过光隔离系统和准直系统后，依次入射到两个正交偏转的数字振镜电机轴上的反射镜上，经二次反射后，由场镜约束聚焦在二维平面内扫描烧蚀靶材基底上的表面污渍；两个数字振镜电机的接口协议是XY2-100；两个数字振镜电机分别独立受控；两个正交偏转的数字振镜电机在一个周期内的偏转角度变化分别按照Sin函数和Cos函数分布进行控制，使得合成的轨迹形成椭圆轨迹，合成的椭圆轨迹绕自身中心旋转填充整个二维平面，从而实现整个平面螺旋式扫描清洗；两个正交偏转的数字振镜电机在一个周期内，以数字振镜电机偏转角度的中间值为中心，均采用高斯分布采样。

2.如权利要求1所述的二维激光螺旋式清洗方法，其特征在于：驱动两个数字振镜电机的电机驱动板的接口上有4对差分控制信号，分别为SENCDCK+/-,SYNC+/-,CHANELX+/-,CHANELY+/-；SYNC由低电平变到高电平时，每个SENCDCK时钟上升沿时候CHANELX、CHANELY数据变化，SENCDCK时钟下降沿时候CHANELX、CHANELY数据稳定，CHANELX、CHANELY数据分别表征当前X和Y方向的两个角度偏转量，将角度偏转量和场镜焦距进行运算获X、Y方向的位移分量，最终激光偏转的位移量即为X、Y方向位移分量的矢量和。

3.如权利要求2所述的二维激光螺旋式清洗方法，其特征在于：将CHANELX、CHANELY数据SYNC同步使能后，按照SENCDCK时钟节拍发送CHANELX和CHANELY数据，当振镜电机驱动器收到该指令信号后，触发响应，将电机拍动到CHANELX、CHANELY数据的位置。

4.如权利要求3所述的二维激光螺旋式清洗方法，其特征在于：所有扫描点完成的时间包括电机响应时间和延时时间，将延时时间分摊到每个点上。

5.如权利要求3所述的二维激光螺旋式清洗方法，其特征在于：以T＝10*Nμs作为控制时钟周期，N为≥0的整数，每间隔T，触发角度发送指令，再每间隔A*T和B*T分别更改X、Y轴的速度数据，A和B均为不小于1的整数。