[发明专利]一种高性能金属化薄膜的生产监控方法及装置在审
| 申请号： | 201911126817.2 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN110865594A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 陈挚宗;李宁 | 申请（专利权）人： | 浙江长兴昊隆电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048;G01B21/08;H01G4/005;H01G4/33 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 沈涛 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高性能金属化薄膜的生产监控方法。包括检测有机介质层的初始厚度，当获取到确认信息时，检测有机介质层的第一厚度；根据有机介质层的初始厚度与有机介质层的第一厚度判断预蒸镀是否合格；若判断预蒸镀合格，则生成沉积指令。本发明还公开了一种高性能金属化薄膜的生产监控装置。本发明通过控制器对该过程进行全程监控，检测有机介质层上蒸镀前后的厚度变化，确保蒸镀层的厚度不会过厚进而对成品质量造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 金属化 薄膜 生产 监控 方法 装置 | ||
【主权项】：
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