[发明专利]基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法有效
| 申请号： | 201911125440.9 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN110763873B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 刘连庆;施佳林;于鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 王倩 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法。使用峰值力轻敲模式(Peak Force Tapping mode)和扭转共振模式(Torsional Resonance mode)的复合模式来进行成像和样本物性测量及表征，利用峰值力轻敲模式控制针尖与样品之间的相互作用，在峰值力轻敲模式工作的同时利用转共振模式测量样品横向物理特性。本发明弥补了扭转共振模式对样品有特殊要求的缺陷，也解决了扭转共振模式下针尖与样品的垂直相互作用力大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 原子 显微镜 技术 峰值 力轻敲 扭转 共振 复合 方法 | ||
【主权项】：
1.基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法，其特征在于：在峰值力轻敲模式工作的过程中，对探针施加扭转共振模式驱动信号，使探针同时工作在扭转共振模式，并且在针尖与样品纵向相互作用的不同阶段采集扭转共振模式测量信号。/n
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