[发明专利]检测装置在审
| 申请号： | 201911119256.3 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN111198215A | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 井上文裕;中根健智 | 申请（专利权）人： | 美蓓亚三美株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;曹鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测装置，其以实现小型化和功耗降低为目的。该检测装置具有：基板；参考电极，其设置于上述基板的上方；下部电极，其经由绝缘膜设置于上述参考电极的上方；以及上部电极，其经由物理量检测膜设置于上述下部电极的上方，通过上述上部电极和上述下部电极构成平行平板型的检测用电容器，通过上述下部电极和上述参考电极构成平行平板型的参考用电容器。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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