[发明专利]一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法有效
| 申请号： | 201911118770.5 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN110702968B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 黄勇;简凤麟;赵小飞;申水围;贾彦定;朱攀峰 | 申请（专利权）人： | 新疆东方希望新能源有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;H02H3/027;C01B33/035 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 管高峰 |
| 地址： | 831100 新疆维吾尔*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法，根据硅芯生长不同阶段所需恒流维持电压的不同，将维持电压分档设置，每档设置对应的接地电流的预警值和动作值，预警值小于动作值。当维持电压对应的接地电流达到预警值时，进行预警，操作者根据预警调整工艺参数以避免或延迟接地电流达到动作值；当维持电压对应的接地电流达到动作值时，停止多晶硅还原炉电源系统的运行。本发明的保护精度更高，在保证还原炉安全运行生产同时，可减少缺相、延迟缺相，增加了还原炉有效运行时间，从而增加了产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 电源 系统 接地 电流 分档 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原炉电源系统接地电流分档检测方法，其特征在于，根据硅芯生长不同阶段所需恒流维持电压的不同，将所述维持电压分档设置，每档设置对应的接地电流的预警值和动作值，所述预警值小于所述动作值；当所述维持电压对应的接地电流达到所述预警值时，进行预警，操作者根据预警调整工艺参数以避免或延迟接地电流达到动作值；当所述维持电压对应的接地电流达到所述动作值时，停止多晶硅还原炉电源系统的运行。/n
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