[发明专利]一种基于微机电系统的自驱动新型弹性执行机构

摘要

本申请涉及一种基于微机电系统的自驱动新型弹性执行机构，包括彼此一一首尾交错连接的若干弧形杆和直杆，若干所述弧形杆和直杆位于同一平面上，任一所述弧形杆首尾连接的一对直杆与所述弧形杆呈Z字型相连，所述弧形杆上固定有施加电压后产生形变的驱动件，所述弧形杆随所述驱动件的形变而形变。本发明提出的基于微机电系统的自驱动新型弹性执行机构，结构巧妙，设计合理，通过弧形杆和直杆作为弹性杆件和扭转铰链完成所需运动，可用于微机械中的执行机构。此种机构在施加更小力的情况下，可以产生更大的位移，在同样驱动位移的情况下，所需的力更小，可应用于微机电系统需要产生较大变形或位移的场合。