[发明专利]一种用于单晶硅生长炉的套环式水冷管在审
| 申请号： | 201911109168.5 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110923804A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 钱万勇 | 申请（专利权）人： | 苏州三原流体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 赵瑞鹏 |
| 地址： | 215151 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于单晶硅生长炉的套环式水冷管，涉及单晶硅生长炉技术领域，包括第一水冷管、第二水冷管和第三水冷管，所述第一水冷管包括第一冷却段、第一出口和第一进口；所述第二水冷管包括第二冷却段、第二出口和第二进口；所述第三水冷管包括第三冷却段、第三出口和第三进口；所述第一冷却段、第二冷却段和第三冷却段均呈圆形结构。通过采用三条水冷管道，实现单晶硅生长炉底板上多个零器件的局部降温，有效改善了底板上零器件的工作环境，进而延长了零器件的工作寿命，进而降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶硅 生长 套环式 水冷 | ||
【主权项】：
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