[发明专利]基于高折射率材料的超分辨聚焦装置有效
| 申请号： | 201911104030.6 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110673353B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 张伟华;王中 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G02B27/58 | 分类号： | G02B27/58;G02B1/00;G02B3/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 江苏法德东恒律师事务所 32305 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 210046 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于高折射率材料的超分辨聚焦装置。该装置包括光源、聚焦元件和类透镜聚焦结构，光源发出的光束先经过聚焦元件初步聚焦为聚焦光或者平行光后，再入射到类透镜聚焦结构进一步聚焦，在类透镜聚焦结构的聚焦面处形成亚波长尺寸的聚焦光斑；类透镜聚焦结构的材料采用折射率大于3的材料。本发明的装置可以将聚焦光斑缩小至λ/10，利用径向偏振光照明方式可以进一步提高聚焦光斑的焦深，同时聚焦光斑尺寸可以保持λ/8，且焦深可达到λ/5，有望用于纳米尺度超分辨光刻技术、成像以及数据存储等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 折射率 材料 分辨 聚焦 装置 | ||
【主权项】：
1.基于高折射率材料的超分辨聚焦装置，包括光源、聚焦元件和类透镜聚焦结构，其特征在于，光源发出的光束先经过聚焦元件初步聚焦为聚焦光或者平行光后，再入射到类透镜聚焦结构进一步聚焦，在类透镜聚焦结构的聚焦面处形成亚波长尺寸的聚焦光斑；所述类透镜聚焦结构的材料采用折射率大于3的材料。/n
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