[发明专利]基于高折射率材料的超分辨聚焦装置

权利要求书

1.基于高折射率材料的超分辨聚焦装置，包括光源、聚焦元件和类透镜聚焦结构，其特征在于，光源发出的光束先经过聚焦元件初步聚焦为聚焦光或者平行光后，再入射到类透镜聚焦结构进一步聚焦，在类透镜聚焦结构的聚焦面处形成亚波长尺寸的聚焦光斑；所述类透镜聚焦结构的材料采用硅、锗或硅锗合金，其尺寸范围在50～400nm。

2.根据权利要求1所述的基于高折射率材料的超分辨聚焦装置，其特征在于，所述光束为自然光、圆偏振光、椭圆偏振光、部分偏振光、线性偏振光、径向偏振光或者角向偏振光。

3.根据权利要求1所述的基于高折射率材料的超分辨聚焦装置，其特征在于，所述光束的波长范围是350nm～2000nm。

4.根据权利要求1所述的基于高折射率材料的超分辨聚焦装置，其特征在于，所述类透镜聚焦结构为半球形结构、超半球结构、球形结构或者以上结构的修饰结构，或者为超透镜结构。

5.根据权利要求1所述的基于高折射率材料的超分辨聚焦装置，其特征在于，所述聚焦光斑的半高宽小于100nm。

6.根据权利要求1所述的基于高折射率材料的超分辨聚焦装置，其特征在于，所述类透镜聚焦结构周围还设有覆盖层，类透镜聚焦结构的边缘与覆盖层的边缘重合。