[发明专利]一种倾斜多极杆导引系统有效
申请号: | 201911060892.3 | 申请日: | 2019-11-01 |
公开(公告)号: | CN110767526B | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 何洋;姚如娇;齐晓军;丁正知;朱勇勇 | 申请(专利权)人: | 上海裕达实业有限公司 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J49/26 |
代理公司: | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人: | 李佳俊;郭国中 |
地址: | 200245 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种倾斜多极杆导引系统,其特征在于,包括N根杆状电极,其中,至少有一根杆状电极保持水平轴向位置,至少有一根杆状电极和水平轴向设置的杆状电极的轴线不平行,偏离角度为α,所述N根杆状电极的一端位于同一个小圆平面上,所述N根杆状电极的另一端位于同一个大圆平面上,所述小圆和大圆为同心圆,N取≥4的偶数。本发明的倾斜多极杆导引系统,对离子聚焦能力更强,传输效率更高;具备了中性噪音去除的能力;大口径位置对准离子源,具有更低的离子损耗和更强的抗污染能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 倾斜 多极 导引 系统 | ||
【主权项】:
1.一种倾斜多极杆导引系统,其特征在于,包括N根杆状电极,其中,至少有一根杆状电极保持水平轴向位置,至少有一根杆状电极和水平轴向设置的杆状电极的轴线不平行,偏离角度为α,所述N根杆状电极的一端位于同一个小圆平面上,所述N根杆状电极的另一端位于同一个大圆平面上,所述小圆和大圆为同心圆,N取≥4的偶数。/n
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