[发明专利]微纳米结构组件制造方法、以及以该法制造的微纳米结构组件在审
| 申请号： | 201911054909.4 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110950299A | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 石伟 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 制造微纳米结构组件的方法，包括：提供滤膜；提供MEMS传感器，MEMS传感器上具有开口且能够经该开口进行感测；将滤膜结合到MEMS传感器上，使得滤膜覆盖开口。提供滤膜包括：将覆有光刻胶层(106)的基板(108)加热以软化光刻胶层(106)；用模具对基板(108)加压，模具由叠合的图案层(104)和背层(102)组成，背层(102)受到加压以使得图案层(104)接触光刻胶层(106)；在持续用模具对光刻胶层(106)加压的同时冷却光刻胶层(106)以使其固化，从而在光刻胶层(106)上形成与图案层(104)相符的图案；移除模具；通过干蚀刻移除在图案上残留的光刻胶；在光刻胶层(106)上沉积滤膜材料(107)；从基板(108)剥离光刻胶层(106)。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 结构 组件 制造 方法 以及 法制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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