[发明专利]一种多方向带电粒子束流转向装置在审
| 申请号： | 201911048377.3 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110798959A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 黄良玉;郑川;姚科;邹亚明 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H05H7/00 | 分类号： | H05H7/00 |
| 代理公司： | 31200 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于带电粒子传输技术领域，具体为一种多方向带电粒子束流转向装置。本发明装置包括：真空连接窗口、矫正电极、圆柱形偏转电极、陶瓷支撑件、高压真空穿通件、高压电源、真空腔室、真空规管、涡轮分子泵。该装置采用八组圆柱形偏转电极组成束流偏转区，并配合八组特定结构和安装位置的矫正电极矫正束流进出束流偏转区。本发明装置结构简单，加工方便，易于提高机械加工精度；空心圆筒矫正电极的结构可提高偏转电极的工作效率；带电粒子束流可以通过八个真空连接窗口中的任意一个窗口进出该装置，增加装置使用上的便利性；本发明装置对带电粒子束流提供达五个方向的转向选择，增加带电粒子束流的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 带电粒子束流 矫正 偏转电极 电极 束流 真空连接 偏转区 传输技术领域 发明装置结构 陶瓷支撑件 涡轮分子泵 带电粒子 高压电源 高压真空 工作效率 机械加工 加工方便 空心圆筒 使用效率 增加装置 真空规管 真空腔室 转向装置 便利性 穿通件 多方向 配合 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束流转向装置，其特征在于，包括：真空连接窗口、矫正电极、圆柱形偏转电极、陶瓷支撑件、高压真空穿通件、高压电源、真空腔室、真空规管、涡轮分子泵；其中：/n所述真空腔室，把所述矫正电极和圆柱形偏转电极等隔离于大气环境，该真空腔室为一体式设计，为正八面体；/n所述真空连接窗口，共有八组，均匀分布于所述真空腔室外侧；该真空连接窗口采用刀口密封方式密封真空，密封介质为无氧铜圈；/n所述矫正电极，共有八组，同轴安装于八组真空连接窗口后，并伸入到圆柱形偏转电极束流偏转区域；带电粒子束流经过矫正电极矫正束流路径后进出圆柱形偏转电极区；/n所述圆柱形偏转电极，共有八组，均匀分布在所述真空腔室内，并且每两组圆柱形偏转电极对称分布于一组矫正电极两侧；每组圆柱形偏转电极被所述绝缘陶瓷支撑件支撑在真空腔室底部，每组圆柱形偏转电极通过所述高压真空穿通件连接于高压电源；/n所述陶瓷支撑件，共有八组，分别把八组圆柱形偏转电极支撑在真空腔室底部；/n所述高压真空穿通件，共有八组，分别连接着八组圆柱形偏转电极，起到电位真空连接的作用；/n所述高压电源，可提供八路直流稳压电源给八组圆柱形偏转电极，所供电压调节范围为0至10kV；/n所述真空规管，用于测量整体装置的真空状态；/n所述涡轮分子泵，用于产生整个装置工作的高真空条件。/n
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