[发明专利]一种便于固定的化学机械抛光设备在审
| 申请号： | 201911046138.4 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110695841A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 汪娟 | 申请（专利权）人： | 汪娟 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/27;B24B45/00;B24B57/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 34142 合肥中博知信知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李金标 |
| 地址： | 231261 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种便于固定的化学机械抛光设备，包括箱体，所述箱体的内部设置有支撑架，所述支撑架的内部固定有电机，所述电机的一侧连接有传动杆，其中，所述传动杆远离电机的一侧连接有主动齿轮，所述主动齿轮的一侧设置有从动齿轮，所述从动齿轮远离主动齿轮的一侧连接有转动杆，所述转动杆的内部贯穿有管道，所述管道的内部设置有抛光液，所述转动杆远离从动齿轮的一侧固定有工作台，所述工作台远离转动杆的一侧设置有抛光垫。该便于固定的化学机械抛光设备，设置有液压杆和丝杆，将工件放置在工作台上，液压杆开始工作，液压杆带动夹具朝工件的一侧移动，之后，转动丝杆，丝杆带动两侧的夹具对工件进行夹紧，便于将工件固定住。 | ||
| 搜索关键词： | 转动杆 从动齿轮 主动齿轮 液压杆 化学机械抛光设备 夹具 电机 内部设置 传动杆 固定的 支撑架 工作台 丝杆 工件放置 工件固定 内部固定 转动丝杆 抛光垫 抛光液 夹紧 贯穿 移动 | ||
【主权项】：
1.一种便于固定的化学机械抛光设备，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内部设置有支撑架(2)，所述支撑架(2)的内部固定有电机(3)，所述电机(3)的一侧连接有传动杆(4)，其中，/n所述传动杆(4)远离电机(3)的一侧连接有主动齿轮(5)，所述主动齿轮(5)的一侧设置有从动齿轮(6)，所述从动齿轮(6)远离主动齿轮(5)的一侧连接有转动杆(7)，所述转动杆(7)的内部贯穿有管道(8)，所述管道(8)的内部设置有抛光液(9)；/n所述转动杆(7)远离从动齿轮(6)的一侧固定有工作台(10)，所述工作台(10)远离转动杆(7)的一侧设置有抛光垫(11)，所述抛光垫(11)靠近工作台(10)的一侧连接有固定块(12)，所述工作台(10)靠近固定块(12)的一侧开设有固定槽(13)；/n所述箱体(1)的一侧开设有排液管槽(14)，所述排液管槽(14)的内部设置有排液管(15)，所述箱体(1)远离支撑架(2)的一侧固定有第一连接板(16)，所述第一连接板(16)的一侧固定有第二连接板(17)，所述第二连接板(17)靠近箱体(1)的一侧设置有液压杆(18)，所述液压杆(18)远离第二连接板(17)的一侧连接有安装座(19)，所述安装座(19)远离液压杆(18)的一侧设置有夹具(20)。/n
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