[发明专利]基于微机电系统的摩擦纳米发电机及其制备方法有效
| 申请号： | 201911039487.3 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112751499B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 孙旭辉;陈晨;文震 | 申请（专利权）人： | 苏州慧闻纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | H02N1/04 | 分类号： | H02N1/04 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 张玉涛 |
| 地址： | 215301 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于微机电系统的摩擦纳米发电机及其制备方法，摩擦纳米发电机包括：基底；摩擦层，其内限定有真空腔，摩擦层设在基底上，摩擦层包括键合连接的第一摩擦本体和第二摩擦本体，第一摩擦本体和第二摩擦本体之间限定出真空腔，摩擦层配置成当外界有入射声波能量传送至第二摩擦本体时，驱动第二摩擦本体在真空腔内振动，且在第二摩擦本体与第一摩擦本体接触后产生电信号；电极，分别设在基底和摩擦层上以形成底电极和顶电极；导线，分别与底电极和顶电极连接以导出电信号。本发明的摩擦纳米发电机，通过在摩擦层内构建真空腔，使摩擦发生在真空环境中，提高摩擦纳米发电机的输出信号的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微机 系统 摩擦 纳米 发电机 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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