[发明专利]晶圆边缘轮廓的检测方法有效
| 申请号： | 201911036983.3 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN110940288B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 张岩;刘振洲;王锡铭;赵子强;赵然;陈菲菲 | 申请（专利权）人： | 北京粤海金半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B5/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 邱成杰;林治辰 |
| 地址： | 102500 北京市房山*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆检测领域，公开了一种晶圆边缘轮廓的检测方法，所述检测方法包括：步骤一，将晶圆(1)夹持在夹具上，在支撑盘(9)上设置印模剂；步骤二，将所述晶圆(1)的待成型边缘压入印模剂中，滚动所述晶圆(1)，所述晶圆(1)的待成型边缘在印模剂上滚动而形成印模模型；步骤三，使用激光共聚焦显微镜扫描所述模型，得到所述印模模型在不同位置的三维图像；步骤四，使用计算机软件将三维图像拼接得到所述晶圆(1)的三维边缘数据模型。通过上述技术方案，可以将印模模型在不同位置的三维图像拼接形成三维边缘数据模型，可以更全面、更完全地检测边缘的形状信息，以便于对晶圆加工工艺进行监测，有利于提高晶圆生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 轮廓 检测 方法 | ||
【主权项】：
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