[发明专利]曲面光学薄膜元件反射率测量方法有效
| 申请号： | 201911028735.4 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN110646169B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王银河;宋光辉;姚春龙;刘海涛;李明华;李野 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N21/55 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 郭元艺 |
| 地址： | 110043 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属光学薄膜元件参数测量领域，尤其涉及一种曲面光学薄膜元件反射率测量方法，按如下步骤实施：a、开启恒流光源，测试参数设置；b、进行标准标定；c、恒流光源发出的光经过聚焦后进入光纤接收端；经过光纤透镜后形成出射平行光，平行光进入光学积分器，并按照某一角度入射到待测试曲面光学薄膜元件表面，光线经过镜面反射后进入光学积分器，通过光学积分器匀光后经光学积分器出射口进入接收光纤，再进入CCD探测器并由计算机进行处理最终获得光谱反射数据。本发明可解决角度不同光线难以全部收集问题，反射率测试准确，可保证测试不同曲率半径。 | ||
| 搜索关键词： | 曲面 光学薄膜 元件 反射率 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种曲面光学薄膜元件反射率测量方法，其特征在于，按如下步骤实施：/na、开启恒流光源（4），测试参数设置；/nb、进行标准标定；当将光学积分器（1）的入射口（6）封闭，光线无法进入光学积分器（1）时，CCD探测器（5）无光线进入，即认为零线参考设定完毕；将光学积分器（1）出射口（7）打开，直接测试标准样品反射镜，通过数据处理，作为百线数据；/nc、恒流光源（4）发出的光经过聚焦后进入光纤接收端；经过光纤透镜后形成出射平行光，平行光进入光学积分器（1），并按照某一角度入射到待测试曲面光学薄膜元件表面，光线经过镜面反射后进入光学积分器（1），通过光学积分器（1）匀光后经光学积分器（1）出射口进入接收光纤，再进入CCD探测器（5）并由计算机（10）进行处理最终获得光谱反射数据。/n
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