[发明专利]体声波谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备有效
| 申请号： | 201911027014.1 | 申请日： | 2019-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN111245396B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;徐洋;郝龙;张孟伦;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；顶电极；底电极；压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：顶电极、底电极、声学镜和压电层在所述谐振器的厚度方向上的重叠区域限定谐振器的有效区域；底电极和/或顶电极为间隙电极，间隙电极具有第一电极与第二电极，第一电极贴附于所述压电层，第一电极与第二电极之间限定空隙层，空隙层在谐振器的高度方向上位于第一与第二电极之间；间隙电极设置有用于形成所述空隙层的释放通道，所述释放通道与所述空隙层连通，释放通道包括电极通道部，电极通道部设置于电极的非有效区域中。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备，以及一种制造上述谐振器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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