[发明专利]低噪声多轴加速度计及相关方法有效
| 申请号： | 201911020121.1 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN111103436B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 张欣 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 周阳君 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及低噪声多轴加速度计及相关方法。本公开描述微机电系统(MEMS)加速度计。MEMS加速度计可以包括共同形成一个检验质量块的多个检验质量块部分。整个检验质量块可有助于检测平面内加速度和平面外加速度。MEMS加速度计可以以差分方式检测平面内和平面外加速度。响应于平面外加速度，一些MEMS加速度计可以经历蝴蝶模式，其中一个检验质量块部分相对于轴逆时针旋转，而同时另一个检验质量块部分相对于同一轴顺时针旋转。响应于平面内加速度，检验质量块部分可以经历共同的移动模式，其中检验质量块部分沿着相同方向在平面中移动。 | ||
| 搜索关键词： | 噪声 加速度计 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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