[发明专利]一种铌酸锂脊型光波导的制备方法有效
| 申请号： | 201911014320.1 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110764188B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 黄颖;华平壤 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/134 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种铌酸锂脊型光波导的制备方法，选择光学级Z切0.35mm厚的同成份铌酸锂晶片作为基底，在240℃下进行轻质子交换接近20小时，制成平面波导，质子源采用苯甲酸和苯甲酸锂的混合物；在+Z面平面波导上采用紫外光刻制作出条宽近2‑4μm、厚度为近100‑200nm的SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂脊型光 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铌酸锂脊型光波导的制备方法，其特征在于，该方法具体制作过程包括以下步骤：/n选择光学级Z切0.35mm厚的同成份铌酸锂晶片作为基底，在240℃下进行轻质子交换接近20小时，制成平面波导，质子源采用苯甲酸和苯甲酸锂的混合物；在+Z面平面波导上采用紫外光刻制作出条宽近2-4μm、厚度为近100-200nm的SiO
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