[发明专利]不良分类方法及装置在审
| 申请号： | 201911005695.1 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN110796187A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 史进;张少飞;李在桓 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/62 | 分类号： | G06K9/62 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种不良分类方法及装置，属于半导体技术领域。不良分类方法，包括：利用不良特征信息与生产执行系统MES信息组成原始数据集；利用所述原始数据集构造多个子数据集，每一子数据集包括多个数据样本；对每一子数据集生成一决策树，并得到每一决策树的分类结果；利用随机森林选择算法选择票数最多的分类结果，作为最终的分类结果。本发明能够实现晶圆制程中对不良样本的精确分类。 | ||
| 搜索关键词： | 分类结果 原始数据集 子数据集 决策树 分类 半导体技术领域 不良特征 数据样本 随机森林 信息组成 选择算法 数据集 晶圆 制程 样本 生产 | ||
【主权项】：
1.一种不良分类方法，其特征在于，包括：/n利用不良特征信息与生产执行系统MES信息组成原始数据集；/n利用所述原始数据集构造多个子数据集，每一子数据集包括多个数据样本；/n对每一子数据集生成一决策树，并得到每一决策树的分类结果；/n利用随机森林选择算法选择票数最多的分类结果，作为最终的分类结果。/n
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