[发明专利]一种用于等离子体装置的等离子体密度实时测量机构在审
| 申请号： | 201910993130.2 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN110753436A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 李波;陈晓莉;吴杰峰;韦俊 | 申请（专利权）人： | 合肥聚能电物理高技术开发有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 34126 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李慧 |
| 地址： | 230031 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于等离子体装置的等离子体密度实时测量机构，包括探针机构；所述探针机构一侧开设有用于将其推入或拉出真空室的探针机构推收装置。本发明利用探针机构推收装置将探针机构推入或拉出真空室中进行对样品材料辐照时的等离子体密度测量，完成后可及时退出等离子体束流中心，不仅测量实时、直接，测量值准确可靠，而且为样品座及时进入等离子体束流中心提供空间。 | ||
| 搜索关键词： | 探针机构 等离子体 等离子体束流 推收装置 真空室 拉出 推入 测量 等离子体装置 实时测量机构 辐照 密度测量 样品材料 样品座 退出 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子体装置的等离子体密度实时测量机构，包括探针机构，其特征在于：所述探针机构一侧开设有用于将其推入或拉出真空室的探针机构推收装置，探针机构包括探针管，探针管的一端设有绝缘块，探针头水平穿设在绝缘块中心，朝向真空室的一端延伸出绝缘块；探针机构推收装置包括间隙套设在探针管管壁外的真空密封法兰及固定法兰，真空密封法兰朝向固定法兰面上设有探针管底座，固定法兰朝向真空密封法兰的面上设有探针管支撑座，探针管一端固定在探针管底座上，另一端穿过探针管支撑座，且具有沿其往复移动的自由度，探针管底座与探针管支撑座连接设有罩设在探针管外的波纹管，固定法兰背离真空密封法兰的面上设有与探针机构信号相接的插座。/n
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