[发明专利]光阻去除装置、清洗液及光阻去除方法在审
| 申请号： | 201910991014.7 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN110794657A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 白靖宇 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/32 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供的一种光阻去除装置、清洗液及光阻去除方法，所述光阻去除装置包括容器、第一供给部和第二供给部，所述容器包括容纳腔，所述第一供给部用于向所述容纳腔提供臭氧，所述第二供给部用于向所述容纳腔提供硫酸，所述容纳腔用于容纳所述臭氧和所述硫酸在所述容纳腔中混合形成的清洗液。本申请的光阻去除装置解决了现有技术的清洗液导致的光阻去除的时间及质量受到影响的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻去除 容纳腔 供给部 清洗液 臭氧 硫酸 申请 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种光阻去除装置，其特征在于，包括容器、第一供给部、和第二供给部，所述容器包括容纳腔，所述第一供给部用于向所述容纳腔提供臭氧，所述第二供给部用于向所述容纳腔提供硫酸，所述容纳腔用于容纳所述臭氧和所述硫酸在所述容纳腔中混合形成的清洗液。/n
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