[发明专利]一种电磁波聚束装置在审
申请号: | 201910980967.3 | 申请日: | 2019-10-15 |
公开(公告)号: | CN112670148A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 武文杰 | 申请(专利权)人: | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种电磁波聚束装置,包括:射频桶(1)、漂移管(2)、四极透镜(3)。其中射频桶(1)、漂移管(2)组成聚束装置的主体部分,漂移管(2)与四极透镜(3)形成电容,在电容极板产生电势差对离子束进行加减速从而形成簇状束流。射频加速器需要稳定的簇状束流进入加速器,而产生这种簇状离子束的装置叫做电磁波聚束器。 | ||
搜索关键词: | 一种 电磁波 束装 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京烁科中科信电子装备有限公司,未经北京烁科中科信电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910980967.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种定向台晶圆自动对中机构
- 下一篇:一种含多种中草药提取物的养护沐浴精华露