[发明专利]一种金属@GST介质异质纳米核-壳结构及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201910977766.8 申请日: 2019-10-15
公开(公告)号: CN110656306A 公开(公告)日: 2020-01-07
发明(设计)人: 姜澜;韩伟娜;赵康 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: C23C14/16 分类号: C23C14/16;C23C14/18;C23C14/58;C23C14/35;C23C14/06;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 11639 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 王民盛
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种金属@GST介质异质纳米核‑壳结构及其制备方法,所述核‑壳结构核为具有表面等离激元共振特性的金属纳米颗粒,壳为无定形相变材料GST。本发明综合纳米薄膜在热退火条件下去润湿效应以及磁控溅射镀膜技术,实现了GST包裹金属纳米颗粒的异质核‑壳结构制备。通过控制薄膜厚度可实现金属纳米颗粒尺寸调节;进一步通过磁控溅射沉积GST,基于金属纳米结构较强的表面活性能,使靶材元素密集于金属纳米结构上,得到厚度可调的纳米核‑壳结构。对比单金属纳米结构,金属@GST核‑壳结构外层GST物相特征对内层金属纳米颗粒表面等离激元共振特性具有调谐作用,在超表面器件等领域具有广泛应用前景,该方法可实现大面积高效制备,性质可调,应用范围广。
搜索关键词: 壳结构 金属纳米颗粒 表面等离激元 金属纳米结构 共振特性 纳米核 异质 制备 磁控溅射沉积 磁控溅射镀膜 调谐 金属 润湿 应用范围广 表面活性 表面器件 尺寸调节 高效制备 厚度可调 纳米薄膜 纳米结构 相变材料 单金属 热退火 无定形 靶材 可调 薄膜 应用
【主权项】:
1.一种金属@GST介质异质纳米核-壳结构,其特征在于,所述核-壳结构中核结构为具有表面等离激元共振特性的金属纳米颗粒结构,壳结构为无定形相变材料GST。/n
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