[发明专利]基板处理设备和应用于基板处理设备的安全阀在审
| 申请号： | 201910949254.0 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN110985722A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 崔龙贤;金基峰;金禹永 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | F16K17/04 | 分类号： | F16K17/04;F16K17/164;F16K27/02;F17C5/02;F17C5/06;F17C7/00;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17C1/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种安全阀，包括：主体，该主体在其中形成有流动通路，该流动通路包括入口和出口，其中，围绕入口或出口形成有阀座；阀盘，其设置在主体中，其中阀盘的一侧接触阀座；弹性构件，其与阀盘的相反侧连接并弹性支撑阀盘并且具有设定弹性；和由聚酰亚胺制成的密封构件，其设置在阀盘和阀座的接触表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 设备 应用于 安全阀 | ||
【主权项】：
暂无信息
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