[发明专利]一种电子显微成像系统及成像方法有效
| 申请号： | 201910941686.7 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110676149B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;张炜阳 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/141 |
| 代理公司： | 江苏瑞途律师事务所 32346 | 代理人： | 金龙 |
| 地址： | 210023 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了电子显微成像系统及成像方法，属于电子成像领域。本发明的电子显微成像系统包括若干个荷电粒子源，荷电粒子源用于发射荷电粒子；会聚单元位于荷电粒子源的下方，衍射单元位于会聚单元的下方，且与衍射单元之间设有样品，探测器位于衍射单元的下方。本发明方法为若干个荷电粒子源发射荷电粒子形成若干束荷电粒子束，若干荷电粒子束通过会聚单元形成荷电粒子束探针，荷电粒子束探针穿透样品经衍射单元形成样品的衍射图案，探测器接收衍射图案并进行层叠成像重构样品图像。本发明目的在于克服单一电子束作为电子束探针时，需要频繁地移动会降低成像的质量以及数据采集效率的降低的不足，本发明可以提高获取数据的效率及成像的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 显微 成像 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子显微成像系统，其特征在于：包括/n若干个荷电粒子源，所述荷电粒子源用于发射荷电粒子；/n会聚单元，该会聚单元位于荷电粒子源的下方，且该会聚单元用于控制荷电粒子束的会聚角；/n衍射单元，该衍射单元位于会聚单元的下方，且会聚单元与衍射单元之间设有样品，衍射单元用于形成样品的衍射图案；/n探测器，该探测器位于衍射单元的下方，且该探测器用于接收样品的衍射图案。/n
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