[发明专利]质量流量控制器的线性度增强方法及装置有效
| 申请号： | 201910938810.4 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110647177B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 马弢;牛晓;杨健;张福林 | 申请（专利权）人： | 北京晓韬科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 白冬梅 |
| 地址： | 101149 北京市通州区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种质量流量控制器的线性度增强方法及装置，本方案中的线性度增强方法，包括：接收用户设定的第一流量值；基于预设误差修正曲线，将第一流量值修正为第二流量值，预设误差修正曲线在基于预设标准线性曲线设定的误差区间内；将第二流量值输入质量流量控制器。本申请的方法实现了对精度超差的质量流量控制器的线性度增强，提高了质量流量控制器的输出精度，在不对质量流量控制器重新标定的情况下延长了质量流量控制器的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 流量 控制器 线性 增强 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种质量流量控制器的线性度增强方法，其特征在于，包括：/n接收用户设定的第一流量值；/n基于预设误差修正曲线，将所述第一流量值修正为第二流量值，所述预设误差修正曲线在基于预设标准线性曲线设定的误差区间内；/n将所述第二流量值输入所述质量流量控制器。/n
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