[发明专利]喷墨头清洁装置、喷墨头清洁方法及基板处理方法在审
| 申请号: | 201910897400.X | 申请日: | 2019-09-23 |
| 公开(公告)号: | CN111674158A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
| 发明(设计)人: | 李在学;河炳瑨;姜胜欢;高汉瑞;孙东岐 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司;成均馆大学校 |
| 主分类号: | B41J2/165 | 分类号: | B41J2/165 |
| 代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘灿强;姜长星 |
| 地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 公开了一种喷墨头清洁装置、喷墨头清洁方法及基板处理方法。该喷墨头清洁装置,包括:叶片主体,以旋转轴为中心而可旋转,并沿垂直于所述旋转轴的方向延伸;喷射口,形成在所述叶片主体的末端,向形成有喷嘴的喷墨头喷射溶剂;叶片尖端,连接到所述叶片主体的所述末端而被固定,配备为擦除(wiping)所述喷嘴表面的污染物而将其去除;以及吸入口,形成在所述叶片主体的所述末端,布置在所述喷射口和所述叶片尖端之间且配备为吸入从所述喷射口喷射的所述溶剂。 | ||
| 搜索关键词: | 喷墨 清洁 装置 方法 处理 | ||
【主权项】:
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