[发明专利]将探针卡装载到探测器中的方法、接口装置及测试系统在审
| 申请号： | 201910883601.4 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110927547A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王家伟;杨为智;黄健芳 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 闫华;傅磊 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供一种将一探针卡装载到一探测器中的方法、接口装置及测试系统。此方法包括将探针卡放置在一承载板上，并分析由两个检测感应器产生的信号。当探针卡以正常状态放置时，检测感应器产生正确信号，而当探针卡以异常状态放置时，检测感应器产生错误信号。另外，此方法包括响应于由上述两个检测感应器所产生的正确信号而传送探针卡到探测器中。或者，此方法包括响应于由上述检测感应器的任一者所产生的错误信号，从承载板去除探针卡，并在调整探针卡之后再次将探针卡放置到承载板上。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 装载 探测器 中的 方法 接口 装置 测试 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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