[发明专利]一种非接触式超声清洗设备在审
| 申请号： | 201910879527.9 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110597020A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 岳力挽;毛智彪;顾大公;马潇;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 31333 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李萍 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市北仑*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及清洗机械设备领域，具体涉及到一种非接触式超声清洗设备，包括清洗外壳、清洗液循环装置、气浮装置和气体循环装置；所述清洗液循环装置和气体循环装置设置在外壳中央的凹槽内，该气体循环装置在清洗液循环装置外侧；所述气浮装置设置在凹槽周围；所述清洗液循环装置上设置有出口和入口；所述出口周围设置有超声发生器；所述清洗外壳上设置有砝码。由于外壳的漂浮不需要气体循环装置产生浮力，因此对进气口、出气口的尺寸没有特殊要求，对清洗装置的材质也不做特殊限定。同时，由于气浮装置与气体循环装置独立运行，可以保证形成稳定的浮力和气刀，避免接触光刻机硅片台表面和清洗液的泄漏，改善使用稳定性，降低成本，扩大应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗液循环装置 气体循环装置 气浮装置 清洗 体循环装置 浮力 进气口 超声清洗设备 光刻机硅片台 机械设备领域 超声发生器 独立运行 非接触式 清洗装置 外壳中央 出气口 清洗液 砝码 泄漏 出口 漂浮 应用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种非接触式超声清洗设备，其特征在于，所述非接触式超声清洗设备包括清洗外壳、清洗液循环装置、气浮装置和气体循环装置；所述清洗外壳中央设置有凹槽；所述清洗液循环装置和气体循环装置设置在所述凹槽内；所述气体循环装置设置在清洗液循环装置外侧；所述气浮装置设置在凹槽周围；所述清洗液循环装置上设置有中心位置的出口和外围的入口；所述出口周围设置有超声发生器；所述清洗外壳上设置有砝码。/n
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