[发明专利]一种可批量生产的透射电镜载网及其制备方法有效
| 申请号： | 201910874701.0 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110739196B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 杨宇峰;贺龙兵;覃天 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26;G01N23/04;G01N23/20025;B22C9/06;B22C9/24 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可批量生产的透射电镜载网及其制备方法，包括以下步骤：1)根据透射电镜载网要求设计加工光刻掩膜版，得到所需要的掩膜版图形；2)通过光刻工艺把掩膜版图形转移到硅片上，并通过刻蚀工艺把掩膜版图形刻蚀进硅片中形成铸造模具；3)将铸造模具加热，之后将低熔点金属熔化后浇注到模具中，待降温至室温后金属固化；4)抛光去除铸造模具填充后上表面多余的金属，之后将铸造好的金属载网骨架从模具中取出；5)在金属载网骨架上覆盖有机薄膜形成透射电镜载网。该方法通过结合微纳加工技术和低熔点金属的优异特性，可批量制造200～3000目的电镜金属载网，有助于为电镜表征领域提供更灵活的电镜载网解决方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 批量 生产 透射 电镜载网 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可批量生产的透射电镜载网的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：/n1)根据透射电镜载网要求设计加工光刻掩膜版，得到所需要的掩膜版图形；/n2)通过光刻工艺把掩膜版图形转移到硅片上，并通过刻蚀工艺把掩膜版图形刻蚀进硅片中形成铸造模具；/n3)将铸造模具加热，之后将低熔点金属熔化后浇注到模具中，待降温至室温后金属固化；/n4)抛光去除铸造模具填充后上表面多余的金属，之后将铸造好的金属载网骨架从模具中取出；/n5)在金属载网骨架上覆盖有机薄膜形成透射电镜载网。/n
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