[发明专利]一种新型刻写窄线宽短腔长光纤光栅标准具的方法在审
| 申请号： | 201910873891.4 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112526667A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 王长峰 | 申请（专利权）人： | 上海科乃特激光科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/02 | 分类号： | G02B6/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200240 上海市闵行区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型刻写窄线宽短腔长光纤光栅标准具的方法，应用包括紫外激光器，反射镜和相位掩膜板的光刻系统，有以下几个步骤：紫外激光器发出的紫外激光经由反射镜反射，打在相位掩模板上；在均匀的相位掩模板前方贴近放置小铁丝或铜丝，把相位掩模板的曝光区域平均分成两部分；对放置在掩模板后面的光纤进行折射率均匀调制，保证其他没有铁丝或铜丝的曝光区域长度一致，从而在光纤上形成两个参数一致的有一定间隔的光纤光栅，这就是光纤光栅标准具。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 刻写 窄线宽短腔长 光纤 光栅 标准 方法 | ||
【主权项】：
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