[发明专利]用于基于图像的测量及基于散射术的叠对测量的信号响应度量

摘要

本申请涉及一种用于基于图像的测量及基于散射术的叠对测量的信号响应度量。采用各自具有沿相反方向的经编程偏移的两个叠对目标来执行叠对测量。基于零级散射术信号测量叠对误差，且以两个不同方位角从每一目标收集散射术数据。另外，本发明呈现用于基于所测量的基于图像的训练数据而创建基于图像的测量模型的方法及系统。接着使用经训练的基于图像的测量模型来直接依据从其它晶片收集的所测量图像数据计算一或多个所关注参数的值。本文中描述的用于基于图像的测量的方法及系统适用于度量应用及检验应用两者。

主权项

1.一种方法，其包括：/n接收第一量的图像数据，所述第一量的图像数据包含具有至少一个所关注参数的已知值的样品的表面上的第一多个测量位点的第一多个图像，其中所述测量位点中的每一者包含所述测量位点中的每一者内的相同标称位置处的相同标称结构，其中测量信号值与所述第一多个图像中的每一者的每一像素相关联，且其中所述第一量的图像数据是从通过至少一种测量技术执行的测量导出；/n基于所述第一量的图像数据的一部分而确定特征提取模型，其中所述特征提取模型缩减所述第一量的图像数据的所述部分的维度；及/n基于从所述第一量的图像数据的所述部分提取的特征及所述至少一个所关注参数的所述已知值而训练基于图像的测量模型。/n