[发明专利]一种氮氧化钛薄膜及其基于激光剥离技术的制备方法有效
| 申请号： | 201910863086.3 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110510889B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 洪瑞金;师境奇;张大伟;颜廷贞;李正旺;陶春先 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22;B23K26/00;B23K26/38 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氮氧化钛薄膜及其基于激光剥离技术的制备方法，包括：步骤1，将氮化钛陶瓷片放置到实验平台上，然后将洁净的玻璃基片放置到氮化钛陶瓷片上，使玻璃基片的下表面与氮化钛陶瓷片完全且紧密贴合；步骤2，采用脉冲激光器发出激光功率为2W，扫描速率为400mm/s的激光，将氮化钛颗粒从氮化钛陶瓷片上剥离到玻璃基片的表面且氮化钛颗粒与氧元素结合，得到附着在玻璃基片下面的氮氧化钛膜层；步骤3，采用脉冲激光器发出激光功率为2W，扫描速率为400mm/s或700mm/s的激光对氮氧化钛膜层进行辐照，得到氮氧元素含量得到改变的氮氧化钛薄膜。本发明的方法操作简单，成本低廉，且制备得到的氮氧化钛薄膜具有不错的热稳定性和附着力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 及其 基于 激光 剥离 技术 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于激光剥离技术的氮氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤1，将氮化钛陶瓷片放置到实验平台上，然后将洁净的玻璃基片放置到所述氮化钛陶瓷片上，使所述玻璃基片的下表面与所述氮化钛陶瓷片完全且紧密贴合；/n步骤2，采用脉冲激光器发出激光功率为2W，扫描速率为400mm/s的激光，将氮化钛颗粒从氮化钛陶瓷片上剥离到所述玻璃基片的表面且所述氮化钛颗粒与氧元素结合，得到附着在所述玻璃基片下面的氮氧化钛膜层；/n步骤3，采用脉冲激光器发出激光功率为2W，扫描速率为400mm/s或700mm/s的激光对所述氮氧化钛膜层进行辐照，得到氮氧元素含量得到改变的氮氧化钛薄膜。/n
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