[发明专利]一种贵金属溅射镀膜方法在审
| 申请号： | 201910858524.7 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110527958A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 刘秀娟 | 申请（专利权）人： | 深圳市丽纳美珠宝美容有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 44545 深圳众邦专利代理有限公司 | 代理人： | 郭晓宇<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市罗湖区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种贵金属溅射镀膜方法，包括以下步骤，将待镀膜贵金属进行清洗工序，清洗后的待镀膜贵金属放入真空腔内的旋转器上，将第一对靶材与第二对靶材分别放置在旋转器所处平面的上下左后四个方位上；将真空腔通过真空抽气系统抽至预设压强；向真空腔内通入第一惰性混合气体至第一压强，预热待镀膜贵金属表面温度至第一预设温度；开启第一溅射电源对第一对靶材进行溅射镀膜；将第一惰性混合气体调节为第二惰性混合气体，调节真空腔内压强至第二预设压强，加热待镀膜贵金属表面温度至第二预设温度；开启第二溅射电源对第二对靶材进行溅射镀膜，完成镀膜。本发明能够提高贵金属表面镀膜与贵金属本体结合力，防止镀膜脱落，使得贵金属更耐磨。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 贵金属 压强 真空腔 对靶 预设 惰性混合气体 贵金属表面 溅射镀膜 溅射电源 旋转器 真空抽气系统 清洗工序 结合力 平面的 预热 放入 耐磨 加热 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种贵金属溅射镀膜方法，其特征在于：包括以下步骤，/nS1，将待镀膜贵金属进行清洗工序，清洗后的待镀膜贵金属放入真空腔内的旋转器上，将第一对靶材与第二对靶材分别放置在旋转器所处平面的上下左后四个方位上；/nS2，将真空腔通过真空抽气系统抽至预设压强；/nS3，向真空腔内通入第一惰性混合气体至第一压强，预热待镀膜贵金属表面温度至第一预设温度；/nS4，开启第一溅射电源对第一对靶材进行溅射镀膜，第一溅射时间为200S；/nS5，将第一惰性混合气体调节为第二惰性混合气体，调节真空腔内压强至第二预设压强，加热待镀膜贵金属表面温度至第二预设温度；/nS6，开启第二溅射电源对第二对靶材进行溅射镀膜，第二溅射时间为300S；/nS7，降温，向真空腔通入空气，取出工件。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市丽纳美珠宝美容有限公司，未经深圳市丽纳美珠宝美容有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910858524.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
