[发明专利]光学装置在审
申请号: | 201910845871.6 | 申请日: | 2019-09-09 |
公开(公告)号: | CN110908106A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 太田健史;生田凉 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;G02B26/08;F21V14/04;B23K26/06;B23K26/046 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 杨小明 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及光学装置。为了高速且高精度地控制光的焦点位置,光学装置包括:第一反射表面101,被配置为能够绕旋转轴104旋转并反射光;第二反射表面102,被配置为能够绕旋转轴104旋转、面对第一反射表面101并反射来自第一反射表面101的光;第三反射表面114,将来自第二反射表面102的光返回到第二反射表面102;以及,控制单元120,被配置为:通过在保持第一反射表面101和第二反射表面102之间的相对布置的状态下使第一反射表面101和第二反射表面102绕旋转轴104旋转,来控制经由第二反射表面102从第三反射表面114返回到第一反射表面101的光在光轴方向上的焦点位置。 | ||
搜索关键词: | 光学 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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