[发明专利]表面除尘设备及其使用方法在审
| 申请号： | 201910842323.8 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN110508564A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 周方;邓贵兵;张万里 | 申请（专利权）人： | 深圳市凯中精密技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张乐乐<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种表面除尘设备及其使用方法，包括传动机构、除尘辊组机构和升降机构，传动机构用于带动基片的移动；除尘辊组机构包括分别位于传动机构的相对两侧的两个粘尘组件；每一粘尘组件均包括至少两个胶轮组；升降机构包括驱动胶轮组升降的若干升降件，升降件驱动位于同侧的胶轮组依次间隔与基片相抵接。本发明提供的表面除尘设备及其使用方法，通过两侧的粘尘组件同时对基板的两侧面进行吸附，达到较好的除尘效果，升降机构带动基片上侧或下侧的胶轮组依次间隔的与基片相接触，达到延长胶轮组单次寿命的目的，延长整个表面除尘设备的使用时间，避免停机时间过于频繁。 | ||
| 搜索关键词： | 胶轮组 升降机构 粘尘组件 表面除尘设备 除尘辊组机构 升降件 除尘设备 除尘效果 驱动胶轮 相对两侧 整个表面 对基板 两侧面 停机 同侧 吸附 升降 相抵 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.表面除尘设备，其特征在于：包括/n传动机构(1)，用于带动基片(5)的移动；/n除尘辊组机构(2)，包括分别位于所述传动机构(1)的相对两侧的两个粘尘组件(21)；每一所述粘尘组件(21)均包括至少两个胶轮组(211)；以及/n升降机构(3)，包括驱动所述胶轮组(211)升降的若干升降件(31)，所述升降件(31)驱动位于同侧的所述胶轮组(211)依次间隔与所述基片(5)相抵接。/n
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