[发明专利]超高真空用精密压电陶瓷摆动台在审
| 申请号： | 201910841780.5 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN110474562A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王文杰 | 申请（专利权）人： | 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 33253 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张抗震<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高真空用大行程精密压电位移台，包括两个交叉滚珠导轨，每个交叉滚珠导轨包括第一导轨体、第二导轨体和导轨保持架，所述导轨保持架位于第一导轨体和第二导轨体之间，所述导轨保持架同时与第一导轨体和第二导轨体耦合。本发明公开的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，结构简单、尺寸较小、运动范围较大、漂移范围较小，在一个方向运动的同时不会在其他方向产生晃动。 | ||
| 搜索关键词： | 导轨体 导轨保持架 交叉滚珠导轨 超高真空 精密 漂移 压电陶瓷 压电位移 耦合 摆动台 大行程 晃动 | ||
【主权项】：
1.一种超高真空用精密压电陶瓷摆动台，包括摆动台基座和相对于摆动台基座往复摆动运动的摆动台台面，所述摆动台台面具有台面延伸部，其特征在于，所述超高真空用大行程精密压电位移台还包括：/n两个交叉滚珠导轨，每个交叉滚珠导轨包括第一导轨体、第二导轨体和导轨保持架，所述导轨保持架位于第一导轨体和第二导轨体之间，所述导轨保持架同时与第一导轨体和第二导轨体耦合；/n两个压电腿底座，所述台面延伸部位于两个压电腿底座之间，所述台面延伸部的两侧分别设有蓝宝石片，所述压电腿底座与位于同侧的蓝宝石片之间设有至少一个压电陶瓷腿，所述压电陶瓷腿粘接于压电腿底座处，所述压电陶瓷腿相对于台面延伸部呈镜面对称状，各个压电陶瓷腿的一侧与蓝宝石片相互贴合并且紧密接触，各个压电陶瓷腿的另一侧与压电腿底座相互贴合并且紧密接触，通过预紧螺丝调节预紧力大小。/n
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