[发明专利]一种用于长管镀膜的卧式磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201910839103.X | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN110527966B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 朱晓东;庞杰;李玉楼;宋忠孝;李雁淮;孙军 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/56;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 涂琪顺 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于长管镀膜的卧式磁控溅射设备，包括壳体，该壳体具有一端开口的腔体，且腔体的长度为4.8～5.5m；其中，腔体内的底部在水平方向设置有长管支撑架，该长管支撑架的一端穿过壳体的开口端与传动装置连接；腔体的顶部沿其轴向设置有若干个靶座底盘，每个靶座底盘上均分布有多个靶座，每个靶座上均用于安装靶材，每个靶座底盘旁边均设置有用于更换靶材的腔门，靶座上设置有遮挡板，以遮挡靶材。所述磁控溅射设备在放入工件后，进行抽真空，启动电机并调节转速至指定值，进行镀膜。与传统镀膜设备相比，本发明所提供的磁控溅射设备能均匀镀覆长管类工件的所有表面，操作便捷，解决了现有磁控镀膜设备不适配于长管工件镀膜的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 镀膜 卧式 磁控溅射 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于长管镀膜的卧式磁控溅射设备，其特征在于，包括壳体，该壳体具有一端开口的腔体(10)，且腔体(10)的长度为4.8～5.5m；其中，/n腔体(10)内的底部在水平方向设置有长管支撑架(30)，该长管支撑架(30)的一端穿过壳体的开口端与传动装置连接；/n腔体(10)的顶部沿其轴向设置有若干个靶座底盘(20)，每个靶座底盘(20)上均分布有多个靶座(210)，每个靶座(210)上均用于安装靶材，每个靶座底盘(20)旁边均设置有用于更换靶材的腔门(110)，靶座(210)上设置有遮挡板(220)，以遮挡靶材。/n
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