[发明专利]一种激光MEMS麦克风在审
| 申请号： | 201910836984.X | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN110602617A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王鸣;夏梵华;郭冬梅;夏巍;王慧鹏;郝辉 | 申请（专利权）人： | 南京师范大学 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R3/00;G01H9/00 |
| 代理公司： | 32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210046 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种激光MEMS麦克风，包括光源和麦克风结构，麦克风结构包含衬底、背板、振动音膜、由衬底与振动音膜构成的前腔、由振动音膜和背板构成的后腔；光源为VCSEL，背板和振动音膜上均设有通过MEMS技术制作的多个声孔；VCSEL朝振动音膜出射激光束；振动音膜反射部分激光束到VCSEL谐振腔；反射的激光束携带振动音膜振动的声音信息，部分反射的激光束与VCSEL谐振腔内的激光相混合，产生激光自混合干涉效应；VCSEL的输出功率和频率发生变化，提取VCSEL上的结电压；放大解调之后转换成音频波形，实现由声音信号到电信号的转换。本发明的激光MEMS麦克风拾音信噪比高、体积小、抗电磁干扰能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 振动音膜 激光束 背板 反射 麦克风结构 激光 谐振腔 衬底 光源 抗电磁干扰能力 激光自混合 放大解调 干涉效应 频率发生 声音信息 输出功率 音频波形 结电压 体积小 转换 出射 后腔 前腔 声孔 携带 制作 | ||
【主权项】：
1.一种激光MEMS麦克风，其特征在于：包括光源(1)和麦克风结构，麦克风结构包含衬底(2)、背板(3)、振动音膜(4)、由衬底(2)与振动音膜(4)构成的前腔(5)、由振动音膜(4)和背板(3)构成的后腔(6)；所述光源(1)为VCSEL；衬底(2)作为机械支撑；背板(3)位于振动音膜(4)的正上方；振动音膜(4)位于VCSEL出光平面(9)的正上方；所述背板(3)和振动音膜(4)上均设有通过MEMS技术制作的多个声孔(7)，振动音膜(4)在前腔(5)与后腔(6)之间移动；/n所述VCSEL朝振动音膜(4)出射激光束；振动音膜(4)反射部分激光束到VCSEL谐振腔；反射激光束携带振动音膜(4)振动的声音信息，反射的部分激光束与VCSEL谐振腔内的激光相混合，产生激光自混合干涉效应；VCSEL的输出功率和频率发生变化，提取VCSEL上的结电压；放大解调之后转换成音频波形，实现由声音信号到电信号的转换。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京师范大学，未经南京师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910836984.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高灵敏度MEMS压电式麦克风
- 下一篇：一种基于微机电系统的麦克风
