[发明专利]开关元件、可变电阻存储器装置和制造开关元件的方法在审
申请号: | 201910831757.8 | 申请日: | 2019-09-04 |
公开(公告)号: | CN110875429A | 公开(公告)日: | 2020-03-10 |
发明(设计)人: | 俞承根;吴哲;李*儐;李政武;李镇宇;K·郑 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;H01L27/24 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 赵南;张帆 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种开关元件、一种可变电阻存储器装置以及一种制造开关元件的方法。所述开关元件包括:在衬底上的下阻挡电极、在下阻挡电极上的开关图案以及在开关图案上的上阻挡电极。下阻挡电极包括:第一下阻挡电极层以及插入在第一下阻挡电极层和开关图案之间的第二下阻挡电极层,第二下阻挡电极层的密度不同于第一下阻挡电极层的密度。 | ||
搜索关键词: | 开关 元件 可变 电阻 存储器 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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