[发明专利]一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置及其打孔工艺

摘要

本发明公开了一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置及其打孔工艺，包括飞秒激光器和精密运动平台，所述精密运动平台的主轴上设有支撑机构，支撑机构的顶部设有夹具；所述飞秒激光器的输出端设有扩束器，所述扩束器的输出端设有反射镜，反射镜的输出端设有光束扫描模块，所述光束扫描模块的输出端设有半聚焦镜，半聚焦镜的输出端设有45度设置的半透反射镜，半透反射镜的反射输出端设有高精度三维在线监测模块，半透反射镜的透射输出端正对精密运动平台上的夹具。本发明通过高精度三维在线监测模块来对加工过程中的光束偏移量进行实时检测，并进行相应的调整，有效的提高加工质量与精度；此外本发明还具有加工精度高、稳定性高的优点。

主权项

1.一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置，包括飞秒激光器（1）和精密运动平台（2），所述精密运动平台（2）的主轴上设有支撑机构（3），支撑机构（3）的顶部设有夹具（4）；其特征在于：所述飞秒激光器（1）的输出端设有扩束器（5），所述扩束器（5）的输出端设有反射镜（6），反射镜（6）的输出端设有光束扫描模块（7），所述光束扫描模块（7）的输出端设有半聚焦镜（18），半聚焦镜（18）的输出端设有45度设置的半透反射镜（8），半透反射镜（8）的反射输出端设有高精度三维在线监测模块（9），半透反射镜（8）的透射输出端正对精密运动平台（2）上的夹具（4）。