[发明专利]一种新型HCN激光器腔长调节机构在审
| 申请号： | 201910809244.7 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110676681A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 刘海庆;解家兴;魏学朝;揭银先 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01S3/105 | 分类号： | H01S3/105 |
| 代理公司： | 34112 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张果果 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型HCN激光器腔长调节机构，包括有步进电机、高精度微分头和压电陶瓷，所述的步进电机连接在高精度微分头上，所述的高精度微分头通过波纹管弹簧与真空法兰相连，真空法兰与一个同等尺寸的绝缘法兰相连，绝缘法兰连接在激光器阴极密封压盖上，阴极密封压盖上加工了6根真空引线柱，高精度微分头的前端衔接了一个螺杆从阴极密封压盖中心穿出，并在螺杆上直接连接一个封装柱形压电陶瓷，压电陶瓷的前端与平面反射镜相连。本发明机构能为HCN双激光器提供精度2m的输出功率调节和精度10nm的差频调节，为HCN双激光器的持续稳定输出提供保障。 | ||
| 搜索关键词： | 压电陶瓷 微分头 步进电机 绝缘法兰 双激光器 阴极密封 真空法兰 螺杆 压盖 输出功率调节 波纹管弹簧 激光器阴极 平面反射镜 激光器腔 密封压盖 稳定输出 真空引线 差频 穿出 柱形 封装 衔接 加工 | ||
【主权项】：
1.一种新型HCN激光器腔长调节机构，其特征在于：包括有步进电机、高精度微分头、衔接部件、波纹管弹簧、法兰组件、压电陶瓷和平面反射镜，所述的步进电机的前端通过衔接螺杆一连接高精度微分头的调节端头，高精度微分头的另一端连接有衔接螺杆二，在高精度微分头的外侧设有外壳，所述的外壳的一端固定在所述的步进电机上，所述的波纹管弹簧和衔接部件位于外壳内部，波纹管弹簧的两端分别设有法兰，波纹管弹簧一端的法兰与外壳的另一端固定连接，波纹管弹簧另一端的法兰与衔接部件密封焊接连接，所述的高精度微分头的衔接螺杆二依次穿过衔接部件、波纹管弹簧、外壳、法兰组件与压电陶瓷的后端连接，压电陶瓷的前端通过绝缘陶瓷块与平面反射镜连接，在所述的法兰组件上设有多个真空引线柱。/n
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