[发明专利]一种基于复光束角度自适应光学的平面度三维形貌检测装置及其处理方法在审
| 申请号： | 201910798715.9 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN110702026A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 陈梅云;黄建平;朱清晖;沈咏新;陈彬;蒋丽;谢胜利 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 44329 广东广信君达律师事务所 | 代理人： | 江金城 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于复光束角度自适应光学的平面度三维形貌检测装置及其处理方法，该装置主要包括承重台、支架、XY平台、旋转台、倾斜台和复光束角度传感器。本方案的半导体激光器产生的激光束穿过第一滤光板中的针孔，由准直透镜校直之后，在分束器的作用下投射到工件表面；来自工件表面的反射光束完全通过分束器到达微透镜阵列；入射光被微透镜阵列分割成许多小样本，然后聚焦到探测器阵列上；因此，在CMOS相机上会产生许多分离的光焦点，这些焦点的位置与工件的斜度直接相关；利用算法处理从CMOS相机检测到的图像，并确定焦点的位置，最后通过与原始位置的比较来计算斜坡，并从斜坡重建轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 微透镜阵列 工件表面 分束器 斜坡 三维形貌检测装置 斜度 针孔 半导体激光器 角度传感器 探测器阵列 自适应光学 反射光束 算法处理 直接相关 准直透镜 承重台 光焦点 激光束 滤光板 平面度 倾斜台 入射光 小样本 旋转台 焦点 投射 校直 支架 聚焦 穿过 图像 分割 重建 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基于复光束角度自适应光学的平面度三维形貌检测装置，其特征在于，包括承重台、支架、XY平台、旋转台、倾斜台、以及复光束角度传感器；/n所述承重台水平固定设置；所述支架的两端卡设在承重台的两侧，并与承重台固定连接；所述XY平台安装在承重台上，与承重台固定连接；所述旋转台安装在XY平台上，由XY平台调整其位置；所述倾斜台设置在旋转台上，与旋转台的旋转端固定连接，由旋转台驱动其转动；工件设置在倾斜台上；所述复光束角度传感器安装在支架上，位于倾斜台上方，其检测端朝向工件上表面。/n
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