[发明专利]一种高精度平凹激光腔双光路对准装置及方法有效

专利信息
申请号: 201910796676.9 申请日: 2019-08-27
公开(公告)号: CN110459948B 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 肖孟超 申请(专利权)人: 南昌航空大学
主分类号: H01S3/08 分类号: H01S3/08;H01S3/10;G02B27/12;G02B27/30
代理公司: 南昌洪达专利事务所 36111 代理人: 黄文亮
地址: 330000 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明公开了一种高精度平凹激光腔双光路对准装置及方法,属于固体激光器激光腔调节领域。设置双光路分先后对准具有不同屈光特性的凹面和平面腔镜;在凹面腔镜对准光路中设置会聚点与凹面腔镜球心重合的正光焦度镜组;针对不同曲率半径R的凹面腔镜,调整正光焦度镜组焦距以及正光焦度镜组与凹面腔镜的间距,只要使得正光焦度镜组会聚点与凹面腔镜球心重合即可使凹面腔镜对准光路产生的折返光与平面腔镜对准光路产生的折返光一样最终在相应的对准平面上产生相应的对准标记物的清晰像,该清晰像与对准面中心对准精度高;不会因为激光腔的凹面腔镜半径不同而下降。凹面、平面腔镜先后均能实现高精度对准,从而实现谐振腔的高精度对准。
搜索关键词: 一种 高精度 激光 腔双光路 对准 装置 方法
【主权项】:
1.一种高精度平凹激光腔双光路对准装置,其特征在于,包括凹面腔镜对准装置(1)、平面腔镜对准装置(2)、立方分光棱镜三(11)和连接体(30);/n所述凹面腔镜对准装置(1)和所述平面腔镜对准装置(2)通过所述立方分光棱镜三(11)正交耦合;所述凹面腔镜对准装置(1)、所述平面腔镜对准装置(2)和所述立方分光棱镜三(11)通过所述连接体(30)固定连接;/n所述凹面腔镜对准装置(1)包括:光源一(3);对准标记物一(4)、立方分光棱镜一(5)、挡光屏一(28)和正光焦度镜组(6)依次设置在所述光源一(3)的光路上,所述立方分光棱镜一(5)将光路转折90°,所述挡光屏一(28)和所述正光焦度镜组(6)依次设置在转折90°后的光路上;对准终端一(12)相对所述正光焦度镜组(6)在所述立方分光棱镜一(5)另一侧;/n所述平面腔镜对准装置(2)包括:光源二(7);对准标记物二(8)、立方分光棱镜二(9)、挡光屏二(29)和准直物镜(10)依次设置在所述光源二(7)的光路上,所述立方分光棱镜二(9)将光路转折90°,所述挡光屏二(29)和准直物镜(10)依次设置在转折90°后的光路上;对准终端二(14)相对所述准直物镜(10)在所述立方分光棱镜二(9)另一侧。/n
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