[发明专利]一种用于芯片硅生产的环保处理设备及其操作方法在审
| 申请号： | 201910790182.X | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110449400A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 郭志宏 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 11435 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 申绍中<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 037002*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于芯片硅生产的环保处理设备，包括酸洗池，所述酸洗池的下端一侧贯穿设有排液管，所述排液管的一端连接有第一电控三通阀，所述第一电控三通阀的两侧均连接有排污管，两个排污管的一端均贯穿设有反应罐，所述反应罐上设有混合装置，两个反应罐的上端一侧均贯穿设有输药管，两个输药管之间共同连接有第二电控三通阀，所述第二电控三通阀的一端连接有储药罐；本发明还提出了一种用于芯片硅生产的环保处理设备的操作方法。本发明能保证废液和药剂之间的反应时长，并且能很好的使废液和药剂充分反应，能提升对废液的处理质量和效率，还能将废液内的杂质进行过滤和沉淀，更好的保护环境。 | ||
| 搜索关键词： | 电控三通阀 废液 反应罐 环保处理设备 一端连接 硅生产 排污管 排液管 输药管 酸洗池 贯穿 芯片 混合装置 储药罐 上端 时长 下端 沉淀 过滤 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于芯片硅生产的环保处理设备，包括酸洗池（1），其特征在于：所述酸洗池（1）的下端一侧贯穿设有排液管（2），所述排液管（2）的一端连接有第一电控三通阀（7），所述第一电控三通阀（7）的两侧均连接有排污管（8），两个排污管（8）的一端均贯穿设有反应罐（9），所述反应罐（9）上设有混合装置，两个反应罐（9）的上端一侧均贯穿设有输药管（3），两个输药管（3）之间共同连接有第二电控三通阀（4），所述第二电控三通阀（4）的一端连接有储药罐（5），两个反应罐（9）的下端均贯穿设有连接管（6），两个连接管（6）的一端共同连接有第三电控三通阀（10），所述第三电控三通阀（10）的一端连接有过滤池（11），所述过滤池（11）的下端一侧贯穿设有出水管（24），所述出水管（24）的一端连接有沉淀池（12）。/n
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