[发明专利]光学测量稳定性控制系统在审

专利信息
申请号: 201910789689.3 申请日: 2019-08-26
公开(公告)号: CN111121651A 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 苏文贤;温峻明;林家庆 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06;G01B11/22
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开一种光学测量稳定性控制系统,其包括机壳、循环流场、光学测量系统以及散热流场。机壳具有密闭空间。循环流场位于密闭空间中且适于产生在密闭空间中流动的气流。光学测量系统位于密闭空间中且位于气流的流动路径上。散热流场与机壳连接且位于流动路径的终端。散热流场通过热传导及强制对流将热排出密闭空间。
搜索关键词: 光学 测量 稳定性 控制系统
【主权项】:
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